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ITO玻璃 在氧化物導電膜中,以摻Sn的In2O3(ITO)膜的透過率最高和導電性能最好,而且容易在酸液中蝕刻出微細的圖形。其透過率已達90%以上,ITO中其透過率和阻值分別由In2O3與Sn2O3之比例來控制,通常SnO2:In2O3=1:9。
ITO是一種N型氧化物半導體-氧化銦錫,ITO薄膜即銦錫氧化物半導體透明導電膜,通常有兩回事個主要的性能指針:電阻率和光透過率。
目前ITO膜層之電阻率一般在5*10-4左右,最好可達5*10-5,已接近金屬的電阻率,在實際應用時,常以方塊電阻來表征ITO的導電性能,其透過率則可達90%以上,ITO膜之透過率和阻值分別由In2O3與Sn2O3之比例控制,增加氧化錮比例則可提高ITO之透過率,通常Sn2O3: In2O3=1:9,因為氧化錫之厚度超過200?時,通常透明度已不夠好---雖然導電性能很好。
ITO在表面有自由離子并在通電狀態下極易發生氧化還原反應而發生ITO腐蝕,所以我們不要裸手去觸摸LCD的電極,因為人體汗液中含有的鹵素(cl元素)是ITO的天敵。