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TFT技術是二十世紀九十年代發展起來的,采用新材料和新工藝的大規模半導體全集成電路制造技術,是液晶(LC)、無機和有機薄膜電致發光(EL和OEL)平板顯示器的基礎。TFT是在玻璃或塑料基板等非單晶片上(當然也可以在晶片上)通過濺射、化學沉積工藝形成制造電路必需的各種膜,通過對膜的加工制作大規模半導體集成電路(LSIC)。
采用非單晶基板可以大幅度地降低成本,是傳統大規模集成電路向大面積、多功能、低成本方向的延伸。在大面積玻璃或塑料基板上制造控制像元(LC或OLED)開關性能的TFT比在硅片上制造大規模IC的技術難度更大。對生產環境的要求(凈化度為100級),對原材料純度的要求(電子特氣的純度為99.999985%),對生產設備和生產技術的要求都超過半導體大規模集成,是現代大生產的頂尖技術。其主要特點有:
(1)使用特性好:低壓應用,低驅動電壓,固體化使用安全性和可靠性提高;平板化,又輕薄,節省了大量原材料和使用空間;低功耗,它的功耗約為CRT顯示器的十分之一,反射式TFT-LCD甚至只有CRT的百分之一左右,節省了大量的能源;TFT-LCD產品還有規格型號、尺寸系列化,品種多樣,使用方便靈活、維修、更新、升級容易,使用壽命長等許多特點。顯示范圍覆蓋了從1英寸至40英寸范圍內的所有顯示器的應用范圍以及投影大平面,是全尺寸顯示終端;顯示質量從最簡單的單色字符圖形到高分辨率,高彩色保真度,高亮度,高對比度,高響應速度的各種規格型號的視頻顯示器;顯示方式有直視型,投影型,透視式,也有反射式。
(2)制造技術的自動化程度高,大規模工業化生產特性好。TFT-LCD產業技術成熟,大規模生產的成品率達到90%以上。
(3)TFT-LCD易于集成化和更新換代,是大規模半導體集成電路技術和光源技術的完美結合,繼續發展潛力很大。目前有非晶、多晶和單晶硅TFT-LCD,將來會有其它材料的TFT,既有玻璃基板的又有塑料基板。
(4)環保特性好:無輻射、無閃爍,對使用者的健康無損害。特別是TFT-LCD電子書刊的出現,將把人類帶入無紙辦公、無紙印刷時代,引發人類學習、傳播和記栽文明方式的革命。
(5)適用范圍寬,從-20℃到+50℃的溫度范圍內都可以正常使用,經過溫度加固處理的TFT-LCD低溫工作溫度可達到零下80℃。既可作為移動終端顯示,臺式終端顯示,又可以作大屏幕投影電視,是性能優良的全尺寸視頻顯示終端。
(6)低成本:玻璃基板和塑料基板從根本上解決了大規模半導體集成電路的成本問題,為大規模半導體集成電路的應用開拓了廣闊的應用空間。