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TFT-LCD液晶顯示模塊的關鍵技術。TFT-LCD液晶模塊的關鍵技術很多,主要有以下幾個大的方面:
一是提高開口率技術。開口率指TFT-LCD顯示屏光透過部分和不透過部分之比,開口率越大,亮度越高。影響開口率的主要是柵和源總線寬度、TFT尺寸、上下基板對盒精度、存貯電容尺寸及黑矩陣尺寸等。為了提高開口率,采取的辦法是:將黑白矩陣和彩膜都做在TFT基板上,此辦法避免了對盒精度引起的開口率下降,但成品率不是很高,成本也會相應加大。
另外就是柵源總線,采用集成電路微加工技術。90年代TFT矩陣微加工約10μm,開口率為35%,微加工達到5μm時,開口率為80%。第三就是采用自對準光刻技術。主要是消除柵極和源漏極重迭形成的寄生電容。用自對準光刻技術,把柵電極作掩膜板,光刻n+a-Si和源漏電極,以減少柵源電極之間的重迭。最后是改善柵源材料。為了增加開口率,應盡量將總線寬度取小,但要考慮由于總線電阻過大,輸入信號延遲,驅動不充分,從而降低對比度的問題。通常采用Cr或MoTa金屬包Al的辦法,這樣就能得到低電阻總線。
二是擴大視角技術。液晶分子的各向異性,決定了液晶分子空間分布的不同,不同的立體角光透過率不同,這是造成顯示對比度不均勻的重要原因。因此,擴大視角是液晶顯示技術的關鍵課題之一。一般采取的技術措施有:補償膜技術。在液晶顯示屏上,貼光漫射膜和光強補償膜,使通過液晶屏的光均勻漫射,并補償某些角度的光強。另外就是采用多疇技術,在象元內劃分兩個以上不同液晶分子排列區域,形成多疇液晶分子取向,從而達到擴大視角的目的。擴大視角技術還有IPS、ASM等方法和措施。
三是簡化TFT數組工藝。一般TFT數組工藝刻蝕次數為7~9次,工藝流程過長,影響產品合格率和生產能力。國外文獻報導,已有4次套刻工藝,比常規的TFT數組工藝減少了一半。